目前在對有機廢氣進行處理的過程中，運用zui普遍的方法是有機廢氣活性炭吸附處理方法、催化燃燒處理方法、催化氧化處理方法、酸堿中和方法、等離子處理法等很多種不同原理與方法。

但是，目前等離子處理方法存在高壓放電的問題，某些行業容易出現爆炸的危險特性，活性碳后期成本又高。

現由杭州綠源環保推出的廢氣處理光氧催化廢氣處理設備，利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、*胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，*達到脫臭及殺滅細菌的目的，有機廢氣的凈化功效非常理想。

等離子處理技術：采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，zui初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

活性碳吸附廢氣處理： 主要使用活性吸附裝置對廢氣中的有機廢氣、粉塵進行過濾、吸附從而達到凈化有機廢氣和除塵的效果，吸附裝置是比較傳統的一種廢氣處理方法，前幾年許多公司使用的是此裝置。

目前處理有機廢氣的方法主要有吸附法、催化燃燒法、活性炭吸附、催化燃燒法和吸收法。考慮方法的可行性、運行費用、設備投資費用、以及二次污染的問題適當選用處理辦法。

之前工業廢氣處理設備主要是利用過濾以及吸附法，過濾采用中效過濾，吸附采用活性炭吸附，材料的多微孔及巨大的表面張力等特性將廢氣中的有機物質去除，所含方法有過濾、吸附、臭氧消毒。利用活性炭本身高強度的吸附力，結合風機作用將有機廢氣分子吸附住，對苯、醇、酮、酯、汽油類等有機溶劑的廢氣有很好的吸附作用。